晶圓精密劃片切割中，總會(huì)遇到各種情況，而最常見的就是工件的崩邊問題，崩邊包括：正崩，背崩，掉角及裂痕等。而有很多種不同因素都會(huì)導(dǎo)致崩邊的產(chǎn)生，比如工件表面情況、粘膜情況、冷卻水、刀片等。
晶圓劃片
如何提高切割品質(zhì)，盡可能減少崩邊產(chǎn)生對劃片機(jī)來說是至關(guān)重要的，國產(chǎn)劃片機(jī)陸芯半導(dǎo)體也一直在不斷的摸索各種材質(zhì)的最優(yōu)切割工藝，以提高切割品質(zhì)并為客戶提供優(yōu)質(zhì)服務(wù)為己任。陸芯半導(dǎo)體通過不斷開拓創(chuàng)新，提高劃片機(jī)切割不同材質(zhì)的效率。晶圓精密劃片切割已有比較完善的解決方案。
劃片機(jī)切割時(shí)工件表面有雜質(zhì)或者本身材質(zhì)不均勻，可能會(huì)導(dǎo)致刀片磨損不均勻而破損，從而導(dǎo)致崩邊的產(chǎn)生。粘膜的種類、厚度以及切割深度的不合適也都會(huì)導(dǎo)致工件崩邊。然而，冷卻水也是至關(guān)重要的，如果冷卻不夠充分，會(huì)影響刀片冷卻，那么切削能力也會(huì)受到影響，也非常容易產(chǎn)生崩邊。另外，選擇合適的刀片也是非常重要的環(huán)節(jié)，如果刀片顆粒度不適合，就能直接導(dǎo)致各種崩邊甚至掉角飛晶。